設備の特徴
- 本シリーズの製品は原料アルゴンガスに対する要求が高くなく、一般的な瓶詰め純アルゴン、液体アルゴンまたは比較的に良い配管アルゴンは使用できる、
- 本シリーズ製品の触媒活性が高く、吸着量が大きく、動作温度が低く、設備がより省エネである、
- 本シリーズの製品は再生可能式であり、使用が失効した後、繰り返し再成長期を通じて使用することができる、
- 本シリーズの製品再生は水素ガスを使わず、真空引きも必要なく、本機で浄化した少量のアルゴンガスで再生し、安全で信頼性の高い;
- 本シリーズ製品のバルブはすべてステンレスコルゲートバルブで、ほとんど漏れがない、
- 本シリーズの設備は双式構造であり、1組は動作し、もう1組は再生予備であるため、長期にわたって連続的にガスを供給でき、1台は2台の機械を支えて使用できる、
- 本シリーズ製品は多通路バルブを採用しているので、同類の浄化機種ではバルブが最も少なく、操作も最も簡単である。
- 本シリーズの製品は一回限りの投資であり、運行中に消耗品がない。
応用分野
- 冶金分析機器の組み合わせ使用
このシリーズのアルゴン浄化機は、米国の熱電、ドイツのスパイク、ドイツのOBLF、スイスのARL、日本の島津、イタリアのナック、英国のアラン、北京のリーマン、英国のオックスフォード、煙台東方、無錫英之城、杭州集光科学技術、江蘇天瑞グループなど多くのスペクトル計会社が生産した直読スペクトル計、蛍光スペクトル計、グロースペクトル計、プラズマスペクトルなどと組み合わせて使用することができ、分析データの正確性と安定性を保障し、スペクトル装置を保護すると同時に、顧客のために高純度アルゴンガスを購入するコストを下げることができる。
- 半導体業界におけるシールドガス使用
- 新材料業界で保護ガス使用
- 熱処理業界は保護ガスとして使用する
技術パラメータ
デバイス名 |
設備型番 |
動作モード |
備考 |
触媒再生式アルゴンガス浄化機 |
CZA-B |
手動 |
作業塔は一用一備 |
CZA-C |
半自動 |
作業塔は一用一備 |
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CZA-D |
手動 |
作業塔のグループ |
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CZA-Z |
全自動 |
作業塔は一用一備 |
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ガス原要求 |
じゅんど |
≥99.9%一般ボトル純アルゴン、液体アルゴン、比較的に良いパイプアルゴン |
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不純物要件 |
O2<1000PPm, H2O<1000PPm |
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しゅつりょくガス |
不純物含有量 |
O2≤0.5PPm H2O≦2 PPm(すなわち露点≦−70℃) CO+CO2≤0.1PPm 塵埃粒子数(≧0.3μm)3〜5個/リットル S、Pの酸化物≦0.1 PPm |
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じゅんど |
≥99.9998% |
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さぎょうあつりょく |
0~1.0MPa |
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しょりガスりょう |
1~100Nm3/hユーザのニーズに合わせて設計製造 |
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コメント |
このシリーズの設備は窒素除去ができず、アルゴンガス中の窒素除去は4 N/FXシリーズの機種を選択すべきである。 |